dz̸ʯīϩÔÚµç×ÓÆ÷¼þÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ

dz̸ʯīϩÔÚµç×ÓÆ÷¼þÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ

¡¡¡¡×Ô2004Äê±»·¢ÏÖÒÔÀ´£¬Ê¯Ä«Ï©±¸ÊܹØ×¢¡£Ê¯Ä«Ï©½öÓÐÒ»¸ö̼ԭ×Ó°ã´óС£¬È´ÓÐ×ÅÆæÌصĵçѧ¡¢¹âѧºÍÁ¦Ñ§ÐÔÄÜ£¬ÀýÈç¸ßµÄÔØÁ÷×ÓǨÒÆÂÊ¡¢Á¼ºÃµÄ͸¹âÐÔ¡¢»úеÐÔÄÜ£¬µÈµÈ¡£ÕâЩÓÅÒìµÄÌØÐÔʹµÃʯīϩ¿ÉÓÃÓÚÖÆ×÷¸÷ÖÖ΢µç×ÓÆ÷¼þ£¬ÓÐןܴóµÄÓ¦ÓÃÇ°¾°£¬ÓпÉÄÜ´úÌæ¹è£¬×÷ΪÖÆ×÷ÏÂÒ»´ú°ëµ¼ÌåÆ÷¼þµÄÖ÷Òª²ÄÁÏ¡£Ö÷Òª´ÓʯīϩµÄÌØÐÔ£¬ÒÔ¼°ÔÚ¹âµç̽²âÆ÷¡¢³¬¼¶µçÈÝÆ÷¡¢´¥ÃþÆÁµÈ¼¸¸ö·½ÃæµÄÓ¦ÓýøÐÐ×ÛÊö¡£

dz̸ʯīϩÔÚµç×ÓÆ÷¼þÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ

¡¡¡¡1 ʯīϩµÄ½á¹¹ºÍÌØÐÔ

¡¡¡¡Ê¯Ä«Ï©Ö¸µÄÊǵ¥²ãµÄʯī±¡Æ¬£¬Æäºñ¶È½öÓÐÒ»¸ö̼ԭ×Ó´óС(0.34 nm)£¬Ô¼ÎªÍ··¢Ë¿µÄ¶þÊ®Íò·ÖÖ®Ò»¡£Ê¯Ä«Ï©Æ¬²ãÖÐÿ¸ö̼ԭ×ÓÒÔsp2ÔÓ»¯µÄ·½Ê½ÓëÖÜΧ̼ԭ×ÓÐγÉÕýÁù±ßÐÎ̼»·½á¹¹£¬Ã¿¸öÔ­°ûÖÐÓÐÁ½¸ö²»µÈ¼ÛµÄ̼ԭ×ÓAºÍB£¬Èçͼ1Ëùʾ¡£A-B¼üΪsp2ÔÓ»¯ÐγɵÄ̼̼¼ü£¬¼ü³¤Îª0.142 nm£¬ÔÚƽÃæÄÚ£¬³Æ֮Ϊ¦Ò¼ü¡£´ËÍ⣬ÔÚƽÃæÍâ·½Ïò£¬PZÔ­×ӵĹìµÀÏ໥½»µþ£¬ÐγÉÀëÓòµÄ´ó¦Ð¼ü¡£¦Ðµç×Ó¿ÉÒÔÒƶ¯£¬Ê¹µÃʯīϩ¾ßÓе¼µçÐÔ¡£¦Ò¼üµÄ¼üÄܴܺ󣬲»ÈÝÒ׶ÏÁÑ£¬Ê¹µÃʯīϩ¾ßÓкÜÇ¿µÄÈÍÐÔ¡£A£¬BÔ­×Ó²»µÈ¼Û£¬²»Í¬µÄ¶Ñµþ·½Ê½£¬Ê¹Ê¯Ä«Ï©¾ßÓÐÁ˲»Í¬µÄµç×ÓÌØÐÔ¡£

¡¡¡¡Ê¯Ä«Ï©µÄÄÜ´ø½á¹¹Öм۴øºÍµ¼´ø³ÉԲ׶ÐΣ¬ÖغÏÓÚµÒÀ­¿Ëµã£¬Òò¶øʯīϩÊÇûÓдø϶µÄ£¬Èçͼ2Ëùʾ£¬²»ÐèÂö³å¼¤·¢£¬¼Û´ø¶¥²¿µÄµç×ӾͻáԾǨµ½µ¼´øµ×²¿¡£Ê¯Ä«Ï©Öеĵç×ÓÔÚ´«Êä¹ý³ÌÖÐÏÔʾ°ëÕûÊýµÄÁ¿×Ó»ô¶ûЧӦºÍÏà¶ÔÂÛÁ£×ÓÌØÐÔ£¬ÀûÓÃÕâÒ»ÌØÐÔ¿ÉÒÔÈËΪµØ¿ØÖÆʯīϩ´ø϶´óС¡£Ê¯Ä«Ï©µÄÄÜ´ø½á¹¹²»Í¬ÓÚ°ëµ¼ÌåµÄÅ×ÎïÏßÐÍÄÜ´ø½á¹¹£¬ÔÚµÒÀ­¿Ëµã¸½½ü£¬µç×ÓÉ«É¢¹ØϵÈçÏ£º

¡¡¡¡Ê¯Ä«Ï©µÄÉ«É¢¹ØϵÊÇÏßÐԵġ£ÕýÒòÈç´Ë£¬Ê¯Ä«Ï©Öеĵç×ÓÒ²³£±»ÈÏΪÊÇûÓÐÖÊÁ¿µÄµÒÀ­¿Ë·ÑÃ××Ó£¬ÓõÒÀ­¿Ë·½³ÌÀ´ÃèÊöÆäµç×ÓµÄÐÐΪ¡£

¡¡¡¡Ê¯Ä«Ï©Öеç×ӵĶÀÌصĵÒÀ­¿Ë·ÑÃ××ÓÐÐΪ£¬Ê¹µÃʯīϩ²»Í¬ÓÚÆäËûµÄ°ëµ¼Ìå²ÄÁÏ£¬ÓÐ×ÅÌØÒìµÄ½á¹¹ºÍÐÔÖÊ¡£

¡¡¡¡1.1 Á¼ºÃµÄ͸¹âÐÔ

¡¡¡¡Ê¯Ä«Ï©¾ßÓÐÓÅÒìµÄ¹âѧÐÔÄÜ¡£ÀíÂÛÉÏͨ¹ý·ÆÄù¶û¹«Ê½ÍƵ¼ÁË×ÔÓÉÐü¸¡µ¥²ãʯīϩµÄ¹âǿ͸¹ýÂÊ£º

¡¡¡¡Ôڿɼû¹â·¶Î§ÄÚ£¬Ê¯Ä«Ï©µÄ͸ÉäÂÊΪ97.7%£¬¶ø·´ÉäÂʺÜС£¬Ð¡ÓÚ0.1%£¬ÄÇô£¬¿É֪ʯīϩµÄÎüÊÕÂÊA¡Ö1-T%¡Ö2.3%£¬ÓëÈëÉä¹âµÄ²¨³¤Î޹ء£ÊµÑéÉÏÒ²µÃµ½ÁËÓëÀíÂÛÒ»ÖµĽáÂÛ¡£

¡¡¡¡1.2 Á¼ºÃµÄ»úеÐÔÄܺÍÈÈѧÐÔÄÜ

¡¡¡¡ÀíÂÛ¼ÆËã±íÃ÷£¬Ê¯Ä«Ï©µÄ¿¹À­Ç¿¶ÈºÍÑîÊÏÄ£Á¿¸ß´ï130 GPaºÍ1 TPa£¬ÊÇÏÖÓвÄÁÏÖÐÇ¿¶ÈºÍÓ²¶È×î´óµÄ£¬¶øÒ»°ãµÄ¸Ö²ÄÁÏ£¬ËüÃǵĿ¹À­Ç¿¶ÈÒ»°ãÔÚ250¡«1 200 MPaÖ®¼ä¡£ºÜÏÔÈ»£¬Ê¯Ä«Ï©µÄ×î´ó¿¹À­Ç¿¶ÈÒªÔ¶´óÓÚÆÕͨµÄ¸Ö²ÄÁÏ¡£ÕâÒ»ÌØÐÔʹʯīϩ¿É×÷ΪһÖÖÌØÊâµÄÔöÇ¿Ï࣬ӦÓÃÓÚ¸´ºÏ²ÄÁÏ¡£´ËÍ⣬ÊÒÎÂÏÂʯīϩ¾ßÓкܸߵÄÈȵ¼ÂÊ£¬¿É´ï5 000 W/mK£¬±È½ð¸ÕʯºÍ̼ÄÉÃ׹ܵÄÈȵ¼ÂÊ»¹Òª¸ß¡£

¡¡¡¡1.3 ½Ï¸ß±È±íÃæ»ý

¡¡¡¡±È±íÃæ»ýÖ¸µÄÊǹÌÌåÎïÖÊËù¾ßÓеıíÃæ»ýÓëÖÊÁ¿µÄ±ÈÖµ£¬°üº¬ÄÚ±íÃæ»ýºÍÍâ±íÃæ»ý¡£Ê¯Ä«Ï©Êǵ±Ç°×µÄ²ÄÁÏ£¬Æäºñ¶È½öÓÐÒ»¸ö̼ԭ×Ó´óС¡£Í¨¹ý¼ÆËã¿ÉÖª£¬Æä±È±íÃæ»ý¿É´ï2 630 m2/g¡£½Ï´óµÄ±È±íÃæ»ý¿ÉÔö´óʯīϩÓëÆäËûÎïÖʵĽӴ¥Ãæ»ý£¬ÀýÈ罫ÆøÌå·Ö×Ó¸ü¶àµÄÎü¸½ÔÚʯīϩµÄ±íÃ棬ʹµÃʯīϩ¾Ö²¿µÄµç×ÓŨ¶È·¢Éú¸Ä±ä£¬½ø¶ø¸Ä±äʯīϩµÄÌØÐÔ¡£ÀûÓÃÕâÒ»ÐÔÖÊ£¬¿É½«Ê¯Ä«Ï©ÓÃÓÚÖÆ×÷ÆøÌå´«¸ÐÆ÷¡£

¡¡¡¡2 ʯīϩµÄÓ¦ÓÃ

¡¡¡¡ÔÚµ±½ñÐÅÏ¢Êý×Ö»¯µÄʱ´ú£¬¹âµç×ÓѧÆ÷¼þÈçÏÔʾÆÁ£¬´¥¿ØÃæ°å£¬·¢¹â¶þ¼«¹ÜµÈÒªÇó²ÄÁϾßÓнϵ͵ÄÃæµç×èRsºÍ½Ï¸ßµÄ͸ÉäÂÊT¡£µ±Ç°Ê¹Óõİ뵼Ìå²ÄÁÏ£¬Èç²ôÔÓµÄÑõ»¯î÷(In2O3)¡¢ZnO»òÕßËüÃǵĻ¯ºÏÎïÒÔ¼°Ê¹ÓÃ×î¶àµÄî÷ºÍÎýµÄÑõ»¯Îï(ITO)¡£ITOµÄµçѧºÍ¹âѧÐÔÖÊÊÜÔÓÖʵÄÓ°Ïì½Ï´ó£¬µ±¼¤·¢ÄÜÁ¿¸ßÓÚ4 evʱ£¬³öÏÖ½ÏÇ¿µÄ´ø¼äÎüÊÕ¹ý³Ì£¬Æä¹âǿ͸ÉäÂÊT¡Ö80%(²¨³¤ÔÚ500 nmµÄÌõ¼þÏÂ)¡£ÔÚ²£Á§³Äµ×ÉÏʱ£¬ÆäÃæµç×èµÍÓÚ10 ¦¸;ÒÔ¾ÛÒÒÏ©¶Ô±½¶þËáÑÎΪ³Äµ×ʱ£¬ÆäÃæµç×èÔÚ60¡«300 ¦¸Ö®¼ä¡£

¡¡¡¡µ«ITO²ÄÁÏ´æÔÚһЩ²»×ãºÍȱÏÝ£º¢Ùî÷µÄ²úÁ¿ÉÙ£¬´Ó¶øµ¼ÖÂITOµÄÉú²ú³É±¾±È½Ï¸ß;¢Ú¶ÔÖÜΧ»·¾³ºÍËáÐÔÎïÖʱȽÏÃô¸Ð£¬»¯Ñ§ÐÔÖʲ»Îȶ¨;¢ÛÒ×Ë飬Òò¶ø²»ÄÜÓÃÓÚÐèÒªÍäÇúµÄµç×ÓÉ豸ÖС£¶øʯīϩµÄ³öÏÖ½â¾öÁËITO´æÔÚµÄÎÊÌ⣬¸øµç×ÓÆ÷¼þµÄз¢Õ¹´øÀ´ÁËÏ£Íû¡£Ê¯Ä«Ï©ÔڽϿíµÄ`²¨³¤·¶Î§ÄÚÓкܸߵÄ͸ÉäÂÊT=97.7%£¬¸ßÓÚITO¡£Ê¯Ä«Ï©µÄÃæµç×èͨ¹ýÉú³¤µÄ¿ØÖÆÒ²¿ÉÒԴﵽͬITO²ÄÁÏÒ»ÑùС¡£ºÜÏÔÈ»£¬Ê¯Ä«Ï©±ÈITO²ÄÁϾßÓиüÓÅÒìµÄÌØÐÔ£¬¸üÊʺÏÓÃÓÚÖÆ×÷µç×ÓÆ÷¼þ¡£

¡¡¡¡ÉÏÊöÄÚÈÝÉ϶ÔʯīϩºÍ³£Óð뵼Ìå²ÄÁϵÄÌØÐԵıȽϡ£ÎÒÃÇ¿ÉÒÔ·¢ÏÖ£¬Ê¯Ä«Ï©¾ßÓиü¶àÓÅÒìµÄÐÔÖÊ£¬Ê¯Ä«Ï©ÔÚµç×ÓÆ÷¼þµÄÖÆ×÷·½Ãæ¾ßÓйãÀ«µÄÓ¦ÓÃÇ°¾°¡£ÏÂÃ棬ÎÒÃÇÁоÙһЩÓÉʯīϩÖÆ×÷³ÉµÄµç×ÓÆ÷¼þµÄʵÀý¡£

¡¡¡¡2.1 ¹âµç̽²âÆ÷

¡¡¡¡¹âµç̽²âÆ÷ÊÇͨ¹ýÎüÊÕÈëÉä¹â×ÓÄÜÁ¿£¬½«¼Û´øÖеĵç×Ó¼¤·¢µ½µ¼´ø£¬´Ó¶ø¸Ä±ä²ÄÁϵĵçѧÐÔÄÜ£¬²âÁ¿¹â¹¦Âʺ͹â×ÓÊýµÄÆ÷¼þ¡£ÔÚÔ¶³Ì¿ØÖÆ£¬µçÊÓ¡¢DVD²¥·ÅÆ÷Öж¼ÓÐÓõ½¡£Ò»°ãµÄ°ëµ¼Ìå²ÄÁ϶ÔÈëÉä¹â×ÓÄÜÁ¿µÄÎüÊÕÊÜ´ø϶´óСµÄÓ°Ï졪¡ªµ±¹â×ÓÄÜÁ¿Ð¡ÓÚ´ø϶ʱÊDz»ÄÜÎüÊյġ£ÀýÈ磬IV×å¡¢III-V×å°ëµ¼ÌåÔÚ³¤²¨·¶Î§£¬ÓÉÓÚ¹â×ÓÄÜÁ¿Ð¡ÓÚ´ø϶£¬Òò¶øÕâЩ²ÄÁ϶Գ¤²¨²»ÄÜÎüÊÕ£¬¿É¿´³É͸Ã÷¡£¶øʯīϩµÄ´ø϶ΪÁ㣬´Ó×ÏÍ⵽̫ºÕ×Ȳ¨¶Î¶¼¿É½«¼Û´øÖеĵç×Ó¼¤·¢µ½µ¼´ø£¬¾ßÓкܿíµÄÎüÊÕ´ø¿í£¬²¢ÇÒʯīϩ¾ßÓкܸߵÄÔØÁ÷×ÓǨÒÆÂÊ¡£Òò¶ø£¬¿ÉÒÔ½«Ê¯Ä«Ï©ÓÃÓÚÖÆ×÷ÏìÓ¦Ëٶȿ졢²¨³¤Ì½²â·¶Î§¿íµÄ̽²âÆ÷¡£

¡¡¡¡2.2 ³¬¼¶µçÈÝÆ÷

¡¡¡¡Ëæ×ÅÉç»áµÄ¸ßËÙ·¢Õ¹£¬ÎÒÃÇÐèҪһЩÄÚ´æ±È½Ï´óµÄ´æ´¢É豸À´Âú×ãÎÒÃǵÄÈÕ³£Éú»îÐèÒª£¬ÕâʹµÃ¿Æѧ¼Ò²»¶ÏµØ̽ѰºÍÑо¿Ò»Ð©¾ß±¸½Ï´ó´æ´¢ÄÜÁ¦µÄÉ豸£¬³¬¼¶µçÈÝÆ÷¾ÍÊÇÆäÖÐÖ®Ò»¡£ËüÄܹ»ÒԽϿìµÄËٶȴ«µÝÄÜÁ¿¡£ÖÁ½ñ£¬¸÷ÖÖ¸÷ÑùµÄ²ÄÁÏ£¬Èç̼ÖʲÄÁÏ¡¢»ìºÏ½ðÊôÑõ»¯Îï¡¢µ¼Ìå¾ÛºÏÎïµÈ¶¼±»ÓÃÓÚÖÆ×÷³¬¼¶µçÈÝÆ÷µÄµç¼«£¬ÓÈÆäÊÇ̼ÖʲÄÁÏ£¬ÓкܴóµÄÃæµç×èºÍ±È±íÃæ»ý¡£µ«ÊÇ̼ÄÉÃ×¹ÜÖÆ×÷³ÉµÄ³¬¼¶µçÈÝÒòÎÞ·¨ÓÐЧ½µµÍµç¼«ºÍ¼¯µç¼«É豸¼äµÄ½Ó´¥µç×裬ʹµÃµçÈÝÆ÷ûÓдﵽԤÏëµÄ´æ´¢Ð§¹û¡£

¡¡¡¡Ê¯Ä«Ï©ÓÐÎȶ¨µÄ»¯Ñ§ÐÔÄÜ£¬¸ßµÄµçµ¼ÂÊÒÔ¼°½Ï´óµÄ±È±íÃæ»ýµÈÓŵã¶ø±»ÓÃÓÚÖÆ×÷³¬¼¶µçÈÝÆ÷¡£ÔøÓб¨µÀ£¬¶à²ãʯīϩÔÚH2SO4ÈÜÒººÍµç½âÒºÖб»ÖÆ×÷³öÁ˱ȵçÈÝ·Ö±ðΪ117 F/g£¬135 F/gµÄ³¬¼¶µçÈÝÆ÷¡£´ËÍ⣬Yan WangС×éÀûÓÃʯīϩµÄÑõ»¯ÎïÖÆ×÷³öÁ˱ȵçÈÝΪ205 F/g µÄ³¬¼¶µçÈÝÆ÷£¬ÇÒ¾ßÓкܳ¤µÄʹÓÃÊÙÃü£¬¾­¹ý1 200´ÎÑ­»·²âÊԺ󣬱ȵçÈÝÈÔΪ²âÊÔÇ°µÄ90%£¬Í¼3¼´ÎªÀûÓÃʯīϩÖÆ×÷³ÉµÄ³¬¼¶µçÈÝÉ豸¡£

¡¡¡¡2.3 ´¥ÃþÆÁ

¡¡¡¡Ê¯Ä«Ï©³ýÁ˱»ÓÃÓÚ¹âµç̽²âÆ÷¡¢³¬¼¶µçÈÝÉ豸¡¢Ì«ÑôÄܵç³ØÍ⣬»¹¿É±»ÓÃÓÚÖÆ×÷´¥ÃþÆÁ¡£´¥ÃþÆÁÔÚÎÒÃǵÄÈÕ³£Éú»îÖÐËæ´¦¿É¼û£¬´ó¼ÒÊÖÉÏʹÓõĴ¥ÆÁÊÖ»ú¡¢µçÄÔ¡¢ÕÕÏà»ú¡¢ÏÔʾÆÁ¡¢µçÊÓ£¬µÈµÈ¡£Í¨³£Ê¹ÓõĴ¥ÆÁÊǵç×èºÍµçÈÝʽµÄ£¬Í¼4Ëùʾ£¬°üº¬µ¼µç³Äµ×¡¢Òº¾§Ãæ°åºÍ͸Ã÷µ¼µç±¡Ä¤(×÷Ϊ͸Ã÷µç¼«)¡£Í¸Ã÷µ¼µç±¡Ä¤µÄÃæµç×èRsÔÚ500¡«2 000 ¦¸Ö®¼ä£¬ÒªÇ󲨳¤ÔÚ550 nmµÄ͸ÉäÂÊT>90%£¬¶Ô²ÄÁϵĻ¯Ñ§Îȶ¨ÐÔ¡¢Ó²¶ÈµÈ¶¼ÓкܸߵÄÒªÇ󡣶øµ±Ç°Ê¹Óý϶àµÄî÷ÎýÑõ»¯Îï(ITO)Òò³É±¾¸ß¡¢Ò×ËéÇÒ²»ÄÜÍäÇúµÈÌص㣬±»ÈÏΪ²»ÊÇÖÆ×÷´¥ÃþÆÁµÄ×îÍêÃÀµÄ²ÄÁÏ£¬Ê¯Ä«Ï©µÄ³öÏÖÕýºÃÃÖ²¹ÁËITOµÄ²»×ã¡£ÈçÇ°ËùÊö£¬Ê¯Ä«Ï©²»½öÓкܸߵÄ͸ÉäÂÊT¡¢ÊʺϵÄÃæµç×裬»¹¾ßÓкܺõľùÔÈÐÔ£¬¶øÇÒ»¯Ñ§ÐÔÖÊÎȶ¨£¬¾ßÓÐÓ²¶È´óµÈÌص㡣ͼ5ΪBae et al.С×é²ÉÓÃCVD·½Ê½Éú³¤µÄʯīϩÖÆ×÷µÄÊÖд´¥ÃþÆÁ¡£

¡¡¡¡ÕâÀï½éÉܵÄÖ»ÊÇʯīϩӦÓõıùɽһ½Ç£¬³ýÁËÉÏÊöÌáµ½µÄ£¬»¹¿É½«Ê¯Ä«Ï©ÓÃÓÚÖÆ×÷´«¸ÐÆ÷¡¢·¢¹âÉ豸¡¢³¡Ð§Ó¦¹Ü¡¢Äɵç×ÓÆ÷¼þ¡¢¼¤¹âÆ÷£¬µÈµÈ¡£¿É¼û£¬Ê¯Ä«Ï©ÊÇÖÆ×÷¹âµç×ÓÆ÷¼þµÄÀíÏë²ÄÁÏ£¬ÔÚÖî¶àÁìÓòÓÐÍû´úÌæ¹è³ÉΪÐÂÒ»´úµÄµç×ÓÆ÷¼þµÄÔ­²ÄÁÏ£¬ÓÐ×ÅÎÞÏÞ¹ãÀ«µÄÓ¦ÓÃÇ°¾°¡£

¡¾Ç³Ì¸Ê¯Ä«Ï©ÔÚµç×ÓÆ÷¼þÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ¡¿Ïà¹ØÎÄÕ£º

1.dz̸»á¼ÆÔÚ¹«Ë¾ÖÎÀíÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ

2.dz̸microRNAÔÚÒ½¼ìÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ

3.dz̸ºÏ×÷½ÌѧÔÚСѧÊýѧÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ

4.dz̸¹ÜÀí»á¼ÆÔÚÆóÒµÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ

5.dz̸Ãñ¼ä¼ôÖ½ÒÕÊõÔڲ廭Éè¼ÆÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ

6.dz̸²å»­ÒÕÊõÔÚƽÃæÉè¼ÆÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ

7.dz̸µØÀí¿ÆѧÔÚ¹ã¸æ²úÒµÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ

8.dz̸µç×ÓÉÌÎñÔÚ¸ÖÌúÎïÁ÷ÖеÄÓ¦ÓÃÂÛÎÄ