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微机械陀螺仪的封装研究提纲
论文摘要: 微机械陀螺仪的封装问题是关系其实用化的主要因素之一.通过调研及分析国内外微机械陀螺及其封装的发展现状,本论文对北京（略）轴微机械音叉陀螺进行器件级真空封装研究以及对该陀螺做性能测试分析. 论文分析了微机械陀螺的结构和工作原理,同时讨论了真空封装能提高微机械陀螺灵敏（略）误差的相关理论,通过理论研究和实验分析相结合,采用了真空冷压焊技术,确定了真空封装微机械陀螺的驱动端品质因数Q与封装腔内的气压近似反比关系,提供（略）EMS微小封装内真空度的方法. 考虑到封装应力对器件性能的影响,本文从粘接胶、基底材料与器件的杨氏模量、热膨胀系数等方面对陀螺的谐振频率的影响做仿真分析和试验,得到采用胶1和陶瓷基底的封装形式使得封装应力最小.同时,对器件的封装热应力分析,得到分散空气泡对器件的（略）提出一种产生分散空气泡的贴片方法.此外,对封装好的微机械陀螺做了性能测试,得到封装腔内气压为600Pa,驱动谐振频率为9065.32Hz,Q值为432.27,标度因数为2.61mv/deg/s,非线性为0.424%,不对称度为0.545%,零偏值为13.04deg/s.
The encapsulation of micro-machined gyroscopes is（omitted）e main factors which are related to their applications. Thro（omitted）search and analysis of the development status of micro-mechanical gyroscopes and encapsulation at home and abroad, we（omitted）e research on the vacuum encapsulation of Z-axis micro-mechanical tuning fork gyroscope, which is designed by （omitted）versity, and the test and analysis of its performance. （omitted）esis, there is an analysis of the structure and working principle of ...
目录:
摘要 第4-5页
Abstract 第5页
第1章 绪论 第8-16页
·研究目的与意义 第8-9页
·国内外发展现状 第9-14页
·微机械陀螺发展 第9-13页
·微机械陀螺封装 第13-14页
·研究内容与方案 第14-15页
·本章小节 第15-16页
第2章 微机械陀螺的动特性分析 第16-33页
·微机械陀螺的结构 第16-20页
·滑膜驱动机理 第18-19页
·压膜检测机理 第19-20页
·微机械陀螺对轴向加速度的响应 第20-21页
·微机械陀螺品质因子Q 第21-23页
·微机械陀螺的阻尼分析 第23-30页
·结构阻尼 第23-27页
·空气阻尼 第27-30页
·微机械陀螺仪的误差分析 第30-32页
·正交耦合误差 第30-31页
·阻尼不对称 第31-32页
本章小结 第32-33页
第3章 微机械陀螺的器件级封装 第33-50页
·真空封装 第33-37页
·真空冷压焊封装 第34页
·真空度及其检测 第34-37页
·封装的影响 第37-38页
·封装对谐振频率影响的仿真分析 第38-43页
·微机械陀螺的器件级封装 第43-47页
·贴片工艺 第43-46页
·键合工艺 第46-47页
·微机械陀螺封装影响实验 第47-49页
本章小结 第49-50页
第4章 器件级真空封装微机械陀螺测试 第50-67页
·微机械陀螺主要测试指标及测试器件概述 第50-52页
·微机械陀螺主要性能指标概述 第50页
·微机械陀螺主要测试器件概述 第50-52页
·微机械陀螺接口检测电路与系统级Matlab 仿真 第52-57页
·闭环驱动电路原理 第52-54页
·角速率检测电路原理 第54-55页
·微机械陀螺的系统级 Matlab 仿真 第55-57页
·器件级真空封装微机械陀螺的性能测试与分析 第57-66页
·扫频测试 第58-63页
·Matlab 软件的扫频测试仿真 第58-59页
·真空器件级封装微机械陀螺的扫频测试与分析 第59-63页
·标度因数测试 第63-65页
·零偏及加速度敏感性测试 第65-66页
本章小结 第66-67页
第5章 总结与展望 第67-69页
·总结 第67-68页
·展望 第68-69页
附录 第69-72页
参考文献 第72-78页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的成果 第78-79页
致谢 第79页
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